Kryopumpy sú tiež široko používané v dnešnom živote. Mnoho ľudí možno ešte nepočulo o kryopumpách. Kryopumpy sú typom vákuovej pumpy, ktorá využíva nízkoteplotný povrchový kondenzačný plyn. Výhodou je, že čerpací výkon je najväčší. Dnes sa pozrime na kryogénne čerpadlá Ako čerpadlo funguje.
Princíp činnosti kryopumpy je použiť plyn na fyzikálnu adsorbciu na povrchu s ultranízkou teplotou, aby sa dosiahol efekt vyčerpania. Je to efektívna a rýchla metóda na získanie čistého vákua.
Kryopumpa môže dosiahnuť extrémne vysoké vákuum (10-11Pa) a má výhody rýchlej výfukovej rýchlosti, bez oleja a neobmedzeného smeru inštalácie.
Na prvom stupni studenej fázy kryopumpy sa nastaví tieniaci kryt a usmerňovač a teplota sa udržiava na 80 K. Sekundárny chladiaci stupeň bol udržiavaný na 15 K a bol naň nastavený kryogénny kryt a adsorbent s aktívnym uhlím.
Vodná para tuhne na 80K štíte a 80K prepážke; dusík, kyslík a argón sú stuhnuté na kryogénnom kryte 15K; vodík, hélium a neón sú adsorbované na adsorbente vnútri kryogénneho krytu 15K. Kryopumpa môže vyčerpať všetky plyny, ale ak je množstvo adsorbovaného plynu príliš veľké, rýchlosť výfuku sa zníži. V tomto prípade je potrebné zahriať kryopumpu, uvoľniť adsorbovaný plyn a znovu použiť.
Vlastnosti kryopumpy
Kryopumpa je vákuová pumpa, ktorá využíva nízkoteplotný povrch na kondenzáciu plynu, tiež známa ako pumpa na kondenzát. Kryopumpa môže získať čisté vákuum s najvyššou rýchlosťou čerpania a najnižším konečným tlakom a je široko používaná vo výskume a výrobe polovodičov a integrovaných obvodov, ako aj vo výskume molekulárnych lúčov, vákuových poťahovacích zariadení, vákuových nástrojov na analýzu povrchu, iónov. implantátory a zariadenia na simuláciu vesmíru atď.
Kryopumpa je vákuová pumpa, ktorá využíva kondenzačný efekt chladiaceho povrchu s veľmi nízkou teplotou (menej alebo rovnajúcej sa 77 K) na odstránenie plynu zo systému. Od 60. rokov 20. storočia sa pri získavaní a aplikácii vákua čoraz viac používa kryogénne čerpanie.
Kryopumpa je čistá vákuová pumpa. Pretože kryogénne médium je iba chladivo, ktoré ochladzuje saciu plochu čerpadla a je skladované alebo cirkulujúce v uzavretej nádobe, nemá žiadny kontakt s vákuovým priestorom. Táto funkcia je kritická pre určité vákuové systémy, ktoré vyžadujú čisté vákuové systémy bez oleja.
Kryopumpy môžu dosahovať veľmi nízke parciálne tlaky a veľmi vysoké čerpacie rýchlosti pre väčšinu plynov. Keď kryopumpa pracuje v kvapalnom héliovom médiu, má tiež výhody veľkej skutočnej čerpacej kapacity a neselektívneho čerpania (okrem hélia).
Kryopumpy zohrávajú dôležitú úlohu vo výskume a výrobe polovodičov a integrovaných obvodov, výskume molekulárnych lúčov a iných oblastiach. Je to čistá vákuová pumpa. Vyššie uvedené je všetko o princípe fungovania kryopumpy.