Kryočerpadlá sú vyrobené na princípe kondenzácie plynov, kryogénnej adsorpcie, kryogénneho zachytávania alebo odsávania pre získanie vákua.
1. Podľa pracovného tlaku čerpadla sa dá rozdeliť na kryopumpu pre rozsah kontinuálneho prietoku, kryopumpu pre rozsah molekulárneho prietoku, zvyčajne čerpadlo kondenzátu plus adsorpčný stupeň alebo stupeň kryogénneho zachytávania.
2. Podľa spôsobu chladenia ho možno rozdeliť na kryopumpu so zásobníkom, odparovaciu kryopumpu a chladiacu kryopumpu. Medzi nimi kryopumpa skladovacej nádrže a odparovacia kryopumpa používajú kvapalné chladivo na chladenie, povrch chladiaceho štítu sa bežne používa kvapalný dusík a kryogénny povrch sa bežne používa na chladenie kvapalné hélium alebo plynné hélium. Pre horľavosť, výbušnosť a vysokú cenu kvapalného vodíka sa napriek vyššej entalpii odparovania ako kvapalné hélium stále používa zriedkavo.
Chladničky s kryopumpou bežne používa Gifford. Typ McMahon (označovaný ako chladnička GM) a typ Stirling (označovaný ako chladnička St). Pre chladiace kryopumpy s veľkou rýchlosťou čerpania je možné použiť chladničku s teplotou tekutého hélia a ventil JT možno nastaviť tak, aby vytvoril chladiace zariadenie s cirkuláciou kvapaliny, a niekedy sa na to používa tekutý dusík v nádrži na skladovanie kvapaliny alebo stroj na skvapalňovanie dusíka. ochladzujte povrch ozvučnice a štítu.
Hlavný výkon kryopumpy
①Vyššia ako rýchlosť čerpania, lepšia ako všetky ostatné typy čerpadiel.
②Neexistujú žiadne obmedzenia tvaru, môže byť ponorený do vákuovej komory alebo pripevnený na stenu vákuovej komory pomocou príruby.
③ Môže poskytnúť úplne čisté vákuum bez znečistenia vákuového systému.
④Je možné dosiahnuť stupeň vákua extrémne nízkeho tlaku, napríklad pod 10-12Pa. Okrem toho je prevádzka kryopumpy spoľahlivá a keď je rýchlosť čerpania relatívne veľká, prevádzkové náklady jej investície sú nižšie ako náklady na tradičnú vákuovú pumpu a je ľahké realizovať automatizáciu.