Podľa spôsobu dodávania média sú kryopumpy rozdelené do nasledujúcich typov:
Kryogénne čerpadlo zásobníka: nízkoteplotné médium (kvapalné hélium) sa priamo vstrekuje do zásobníka v čerpadle na kondenzáciu plynu, aby sa dosiahol účel čerpania.
Výhody kryopumpy akumulačnej nádrže sú malé rozmery čerpadla, žiadne vibrácie, žiadny hluk a jednoduchá obsluha.
Nevýhodou kryogénneho čerpadla zásobníka je, že prevádzkové náklady sú vysoké, doba použitia každého plnenia nízkoteplotného média je krátka a vákuový systém, ktorý musí pracovať nepretržite po dlhú dobu, musí pravidelne dopĺňať pracovný výkon. médium a je obmedzené podmienkami dodávky nízkoteplotného média.
Procesná kryopumpa: Chladiace potrubie kryopanelu v čerpadle je pripojené k chladiacemu expandéru a kryogénne médium (plynové hélium) sa dodáva do kryopumpy vonkajším potrubím, absorbuje teplo kryopanelu a potom sa vracia do chladiaceho kompresora, aby tvoria uzavretý cyklus. Objem čerpadla je obrovský, potrubie je komplikované a chladiaca strata potrubia je veľká.
Výhodou procesnej kryopumpy je, že má veľký chladiaci výkon a je najvhodnejšia na odstraňovanie atmosférického objemu alebo veľkej vákuovej komory.
Kryopumpa pre malé chladničky: Kryopumpa pre malé chladničky s uzavretým cyklom sa skladá z telesa nízkoteplotného čerpadla, kryopanelu na odsávanie vzduchu, dosky tieniacej žiarenie, chladničky a kompresora.
Najväčší rozdiel medzi kryogénnym čerpadlom malej chladničky a kryogénnym čerpadlom procesu je v tom, že prvá a druhá studená hlava chladničky sú priamo spojené s radiačnou clonou a studenou doskou a prietok v spojovacom potrubí medzi chladnička a kompresor majú normálnu teplotu, vysokú (alebo nízku) teplotu. ) stlačené plynné médium, nie je problém s prepravou nízkoteplotného média a má výhody procesnej kryopumpy a kryopumpy skladovacej nádrže. V súčasnosti je to ideálne čisté ultravysoké vákuové čerpadlo.
Malé chladiarenské kryopumpy sa široko používajú pri príprave tenkých vrstiev, mikroelektronických technológiách, fyzike vysokých energií, malých prstencových zariadeniach a iných priemyselných oblastiach.